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半導體光學專用立軸圓臺磨床銑磨機的磨削特點

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半(ban)導(dao)體(ti)光(guang)學(xue)元(yuan)件(jian)對平面度與(yu)(yu)平行(xing)度要(yao)求嚴苛,傳統磨床在長期加工中易出現精度漂移,導(dao)致元(yuan)件(jian)透(tou)光(guang)率下降和波前畸變。如何維持亞微米(mi)級穩定性成(cheng)為行(xing)業核心痛點。硅、碳化硅等(deng)半(ban)導(dao)體(ti)材(cai)料(liao)(liao)在磨削(xue)中易產(chan)生局(ju)部高溫,引發(fa)微裂紋與(yu)(yu)晶格損傷(shang),直接影(ying)響(xiang)晶圓器(qi)件(jian)的電學(xue)性能。從(cong)軟(ruan)質紅外硫(liu)系玻璃到超硬(ying)藍寶(bao)石襯底,半(ban)導(dao)體(ti)光(guang)學(xue)元(yuan)件(jian)材(cai)料(liao)(liao)跨度極大,單(dan)一設備難以兼顧加工效率與(yu)(yu)表(biao)面質量。

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依托20年精密機(ji)床制(zhi)造(zao)經驗,我們山東臨磨構建了全流程品控體(ti)系:從鑄件應力消除到閉環溫控裝配車間,確保設備(bei)長期運行精度。提供(gong)核心部(bu)件5年質保,并配備(bei)本地化服務團隊,48小(xiao)時內響應全國客(ke)戶需求(qiu)。


山東臨磨(mo)作為專注半(ban)導體設備研(yan)發(fa)的(de)生產(chan)廠(chang)家,我們(men)立軸(zhou)圓臺(tai)磨(mo)床(chuang)銑磨(mo)機采用高剛性結構(gou)設計與(yu)進口精密主軸(zhou),實現平面(mian)度(du)≤0.001mm/100mm2的(de)穩定(ding)加工。納(na)米(mi)級進給系統結合自(zi)適應磨(mo)削算(suan)法(fa),可高效處理石英玻(bo)璃、碳(tan)化硅等光學材(cai)料,表面(mian)粗(cu)糙度(du)達Ra0.01μm,滿足(zu)晶圓載具、光掩(yan)膜版等元件(jian)的(de)超精密需求。

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